LINXON myRGA 四极质谱分析仪：高性价比的真空气体分析利器

由 INFICON 设计制造的 LINXON myRGA 四极质谱分析仪，是面向普通真空与科研市场的高性价比残余气体分析设备，兼具高性能、易操作、低维护等多重特点，在检漏、工艺气体监控等场景中表现亮眼，成为真空镀膜、热处理等领域的优选分析仪器。

高性价比兼具精准性能是该设备的核心特点。作为主打高性价比的 RGA 产品，其以亲民价格拥有极小的可检测分压强，EM 款可达 1.5E-14mbar，搭配＜1amu 的高分辨率与 3 毫秒的快速数据收集速率，能精准捕捉低含量气体浓度与微小压强变化。设备提供 100/200amu 两种质量数范围可选，标配法拉第杯检测器，也可选配电子倍增器，后者灵敏度更高，可满足不同精度的气体分析、污染检测需求，温度系数＜1%/℃，在复杂工况下仍能保持检测数据稳定。

模块化设计让维护与适配更便捷，大幅降低使用成本。传感器采用创新双灯丝设计，集成涂敷氧化钇的铱灯丝与钨灯丝，可根据工况灵活选择 —— 铱灯丝适配含氧过程，钨灯丝适配含卤素过程，有效延长灯丝寿命，备用灯丝还能保障设备最大上线时间。灯丝套件、离子源组件及电子倍增器均可现场快速更换，无需专业操作，更换灯丝套件即可替代传统 RGA 的整个离子源，大幅节约维护成本。同时传感器可并行测量总压强，实现灯丝过压保护，进一步提升设备使用安全性。

操作与集成简单化，适配多场景使用需求。设备搭载机载网页服务器，无需安装软件，通过网页浏览器即可操作，支持 PC、平板、智能手机多终端访问，界面会动态适配屏幕尺寸，操作门槛极低；随机附赠 LabVIEW 软件开发套件，可根据需求定制操作软件，搭配 TCP/IP 以太网连接，轻松实现系统集成。设备还支持监视器扫描、调谐、诊断等多模式切换，内置检漏功能，能快速定位真空系统泄漏问题，满足多样化的检测需求。

此外，设备具备出色的环境适应性，最大烘烤温度达 300℃，FC 款传感器可在 200℃下工作，EM 款为 150℃，能适配真空镀膜、低压热处理等高温工业工况，且整机符合 RoHS 认证，传感器与电子学设备可互换，进一步提升了设备的适配性与复用性。依托 INFICON 的专业制造工艺，该设备还拥有高平均故障间隔时间，低总体拥有成本的优势让其成为真空气体分析领域的高价值之选。