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涡轮分子泵的使用和维护

更新时间:2013-10-11      点击次数:2693

涡轮分子的使用和维护

 一、总体安装注意:

1.安装前应检查分子泵运输中是否损坏。

2.打开泵高真空端法兰盖板,波动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。

3、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

4、确认防护网已安装,特殊情况下做特殊防护网。

5、确认已装入润滑油。

6、安装方向:油绳润滑:竖直、水平;油润滑:竖直方向+/-5;润脂油:任意角度

二、油池安装

1、拆下注油

2、油量控制

3、油池卫生、防颗粒。

4、对好、对称上紧螺钉。

5、防止有漏,减少“油黑”

三、进出口法兰、冷却水安装

1、泵入口:对正附件、对称拧紧

2、泵出口:防止错位

3、冷却水:无漏水

四、电缆安装

1.对正槽口插入

2、用螺母拧紧,边插边拧

3、检查到位

五、分子泵启动

1、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度

2、启动时间

   同时启动—小系统,防前级泵油上返

   延迟启动—系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa,启动分子泵。

六、振动隔离、冲击防护

1、分子泵振动极小,可直接接于被抽系统。

2、冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑

   机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)

   气体振动(气量突变、压强突变)

   意外振动(掉入异物,碰撞等)

七:大气载、热气体、突变七载

引起问题:1、温度过高   2、动静片变形 3、转子上移4、润滑失效5、轴承失效

解决方法:1、加大水冷   2、缩短换油时间

八、泵不启动

   原因有:1、电源故障、可参照电源说明书

           2、连接电缆不通,用电表查连接电缆,并检查和使插座接触良好。

         

九、长时间启动仍达不到额定转速或停转

原因:1、系统有漏2、前级压强过高3、转向有误4、润滑油失效5、轴承损坏

十、大的振动和噪声

原因和解决方法:

1、润滑油污染或润滑油不足

2、共振:应改变装配位置及连接尺寸,并使活动件固定或加减振橡胶垫

3、动平衡破坏:单独对泵进行试转,振动、噪声仍很大应送回返修。

4、轴承损坏:检查转子转动是否灵活,有无重滞现象,轴承损坏应返修,更换轴承。

十一、真空度低

1、前级漏气2、前级泵太小3、高真空漏4、规管出气量大5、前几真空泵工作不正常

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