Brooks Sho‑Rate™ 玻璃管转子流量计（变面积 VA 流量计

Brooks Sho‑Rate™ 玻璃管转子流量计（变面积 VA 流量计）

品牌：Brooks Instrument（布鲁克斯），半导体、实验室、工艺设备小流量目视流量计，常用于工艺气体吹扫、载气、液体小流量观测。

主要型号家族

1. 1250A / 1255A：经济型 OEM 款，面板安装

• 1250A：精度 ±5% FS；1255A：±3% FS

2. 1350G / 1355G：工业主流，半导体设备最常见

• 1350G：±5%FS；1355G：±3%FS，重复性 0.25% FS

3. 1358(F)：大流量版本，精度 ±10% FSBrooks Ins...

核心技术参数Brooks Ins...

• 原理：玻璃管浮子（转子）变面积流量计，仅本地目视读数，无电信号输出

• 介质：气体、液体

• 壳体：硼硅玻璃测量管；端座：铝 / 黄铜 / 316SS；密封：Buna‑N、Viton、Kalrez

• 浮子：316SS、蓝宝石、玻璃、钽等可选

• 耐压：200 psig（13.8 bar）

• 温度：1 ~ 121 ℃

• 量程比：10:1

• 接口：1/8"、1/4" NPT；卡套；VCR；面板锁螺母安装

• 选项：内置针阀（M 旋钮）、高低流量报警开关、可互换测量管组件 EZ‑CHANGE™

注意：刻度是标定工况（空气 / 水，1.01bar，21℃），其它气体 / 压力必须做流量换算，不能直接读刻度值BKW Instru...。

半导体设备常见用法

1. 腔体吹扫、惰性气体旁路、起泡器鼓泡流量指示；

2. 配合 MFC 做旁路参考显示；

3. 只做观察指示，不能闭环自动控制。

常见故障

1. 浮子卡滞：颗粒污染、压差冲击，需要清洗 / 更换测量管组件；

2. 泄漏：O‑ring 老化（Viton/Kalrez 优先半导体工况）；

3. 读数不准：实际压力温度偏离标定条件，不是流量计损坏；

4. 玻璃炸裂：严禁超压、热冲击。