累积泄漏检测仪操作方法
说明：LDS3000‑AQ 为常压累积法检漏，主机只检测示踪气体浓度；累积腔、工件充气系统、腔体搅拌风扇、吹扫系统均为配套工装，不属于主机INFICON。操作分为：开机预热、参数配置、校准、单次测量、产线自动模式、关机维护。支持 CU1000 手持操作单元操作，也可通过 IO / 现场总线由 PLC 全自动控制INFICON。
一、开机上电流程
确认硬件连接：质谱模块 24V 供电、前级泵供电、采样管路连接累积腔采样口；CU1000 操作单元、IO1000 模块、总线接线完成。
开启前级机械泵，再接通质谱模块 24V 电源，仪器自动启动。
系统自动启动涡轮分子泵，预热时间<3 min，等待质谱阴极点亮、仪器进入就绪状态，消除初始背景基线INFICON。
⚠️ 必须等仪器就绪，背景稳定后再做测试；刚开机禁止直接测量。
二、基础参数设置(CU1000 操作单元)
优先使用内置 AQ 向导(AQ Wizard) 完成全套累积模式配置，适合新手；也可手动逐项设置ManualsLib。
运行模式选择：选择 AQ‑累积模式(不要选真空检漏 / 嗅探模式)。
示踪气体选择：
氦气 He(质量数 4)
成型气 95% N₂+5% H₂(氢气 H₂，质量数 2)
漏率单位：常用 mbar·l/s，按需切换 Pa・m³/s。
累积腔关键参数(AQ 核心参数)
表格
参数说明
累积腔容积输入实际腔体体积 L，计算漏率必须参数
累积时间示踪气体富集时间，根据漏率规格设定，几百 ms~ 几十 s
吹扫时间每次测试结束，吹扫腔体，清除残留示踪气体
机械因子(Machine Factor)腔体、管路补偿系数，校准后得到
判废阈值设置 OK/NG 漏率限值，仪器自动输出 IO 信号
开启腔内搅拌风扇(工装)，保证腔体内示踪气体浓度均匀，否则漏率读数偏差大INFICON。
三、零点与校准(非常关键，影响精度)
AQ 模式必须校准，分为零点 ZERO、外部标准漏孔校准INFICON。
1. ZERO 零点清零
累积腔内部无工件，执行腔体吹扫，腔内示踪气体回到环境本底，执行【ZERO】，把当前环境背景置零。
建议：每班开机、环境变化、更换气体后执行 ZERO。
2. 外部标准漏孔校准
将已知标准漏孔放置在累积腔内部；漏孔通入选定示踪气体。
进入 AQ 校准菜单，输入标准漏孔标称漏率值。
启动校准流程：仪器执行完整累积‑测量周期，自动计算出机械因子并保存。
校准完成后，拿开标准漏孔，做一次验证测试，确认读数与标准漏孔一致。
周期建议：每日开机校准；更换腔体、管路、气体后必须重新校准。
四、手动测试完整步骤(单工件操作流程)
工件预处理：工件内部充入规定压力的示踪气体，确认工件充气阀关闭。
将充好气工件放入累积腔，关闭腔门，腔体密封。
触发开始测量(CU1000 按开始，或 IO 触发)
阶段 1：等待 / 累积阶段：工件泄漏示踪气体，在密闭腔体内富集，风扇搅拌混匀。
阶段 2：采样测量阶段：仪器抽取腔体内气体，质谱检测示踪气体浓度，结合腔体体积、时间换算出工件实际漏率。
阶段 3：判定输出：仪器对比阈值，显示 OK 合格 / NG 不合格；继电器 IO 同步输出结果信号。
测试完成，启动腔体吹扫：通入新鲜空气置换，把腔内示踪气体排干净。吹扫完成，方可打开腔门取出工件，准备下一件测试。
重点：上一件工件残留示踪气体会造成下一件虚高漏率，吹扫步骤不可省略。
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