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金刚石薄膜的发展,制备及应用

更新时间:2009-11-04      点击次数:2496

简要介绍了金刚石薄膜的发展,总结了金刚石薄膜的几种主要制作工艺,并对各种工艺的优,缺点进行了分析.结合对金刚石应用的讨论,阐述了金刚石薄膜在工业领域中的应用前景和发展趋势.

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