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有关膜厚仪(晶控)的问答

更新时间:2020-06-04      点击次数:988

有关膜厚仪(晶控)的问答

1,膜厚仪(晶控)如何选型?

答:这个问题很复杂,以深圳市科锐诗汀代理的瑞士英福康膜厚仪为例:

如果仅仅需要监测厚度,可选用SQM-160STM-2XMSTM-3STM-2。如果既要检测,又要控制膜厚,可选用Cygnus 2IC6SQC-310XTC/3IQM-233。如果需要将膜厚的测控集成到自己的系统中去,可选用IQM-233

如果在意精度,那么精度高的是Cygnus 2,其膜厚和速度分辨率达到±0.0043Å,其后依次为IC6SQC-310XTC/3STM-2XMSTM-3STM-2IQM-233SQM-160

如果考虑源的数量,多的是IC6Cygnus 2,都能达到6个,其余型号一般是2-1个。

如果考虑探头数量,多的是IC6STM-3,都能达到8个,其次是Cygnus 2,达到6个。

如果考虑材料数量,多的是IC6,能达到32种,其次是XTC/3,达到9种,再次是Cygnus 2,达到6种。

如果考虑行业,OLED行业优先选择Cygnus 2INFICON Modelock技术确保在非常低的速率下有好的稳定性;光学镀膜行业优先选择IC6,每个工艺200个膜层的容纳能力,使其更适合光学镀膜工艺,例如反射膜、带通滤光膜。AR膜等;教学科研行业可以优先选择XTC/3,具有能控制几乎任何膜层数量的能力;普通镀膜可以优先选择SQC-310,可连接2个探头,2个源输出,8个数字I/O; 共镀膜可以优先选择SQC-310C,可连接4个探头,4PID控制输出,16个数字数字输入,16个继电器输出; 仅需要监测的行业优先选用SQM-160STM-2XMSTM-3STM-2

2,两个测量通道跟连接两个探头是一回事?

答;可以这么理解。

3SQC 310可连接两个探头,有两个源输出,所谓两个探头,是每一个探头都可以是双探头,或者是crystal 12那种探头?

答:可以这么理解。但crystal 12crystalSix这样的探头每次只能有一个晶振片工作,其余的备用替补。

4,双探头一次只能用一个晶振片工作吗?

答:双探头有两种工作方式,一种类似crystal 12,每次只能有一个晶振片工作,另一种工作方式可以有两个晶振片工作,用来比较校准,但要配两个振荡包。

5,两个源输出是可以控制两台机器吗?

答:不可以,是可以控制同一个机器里两个蒸发源,蒸镀不同的材料。

6IQM 233怎么使用?客户用什么样的语言来编程??

答:它也需要配震荡包,探头等等,插在客户的电脑插槽里,将膜厚的监测和控制集成到客户自己的系统中去。理论上目前流行的控制类编程语言都能使用,具体情况可以咨询深圳市科锐诗汀科技有限公司的工程师。

7,探头的长度是固定的吗?

答:一般都需要订制,客户根据自己设备的情况,提供探头到法兰的长度参数,国外的工厂根据合同的参数加工。

8,正常探头是耐受400度高温,可烘烤探头是450度,好像区别不大?水冷是必须的吧?

答:不一样,正常探头是可以耐受环境温度达到400度,可烘烤探头可经受450度的持续烘烤。是否水冷根据设备的具体情况,一般都会采用水冷,正常探头水冷情况下是可以耐受环境温度达到400度,而无水冷情况下只能耐受130度,抽屉式探头稍高,可以耐受200度,溅射型探头甚至只能耐受105度。

 

 

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