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氮质谱检漏仪的试验方法

更新时间:2011-05-18      点击次数:2959
       氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度zui高,用得zui普遍的检漏仪器。

     氦质谱检漏仪性能试验方法

  灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。

①灵敏度及其校准

  氦质谱检漏仪灵敏度,通常指仪器的zui小可检漏率。记为qL.min,即在仪器处于*工作条件下,以一个大气压的纯氦气为示漏气体,进行动态检漏时所能检测出的zui小漏孔漏率。所谓“*工作条件”是指仪器参数调整到*值,被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“zui小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时,才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声,一般指在2min内输出仪表的zui大波动量。

  浓度灵敏度校准系统中应用*量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o,则仪器浓度灵敏度。

      如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时,给出仪器zui小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin,能较方便地估计检漏效果。

②反应时间、清除时间及其测定

  反应时间是指仪器节流阀*开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到zui大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间,记为τR。

  清除时间是指输出仪表讯号稳定到zui大值后,停止送氦,其讯号下降到zui大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。

③工作真空、极限真空及入口处抽速

  质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。

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