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中国台湾日扬APC蝶阀使用浅析

发表时间:2022-10-24      点击次数:401

中国台湾日扬APC蝶阀使用浅析

 

中国台湾日扬(Htc)自动压力控制APC蝶阀,是整合真空腔体压强反馈与马达控制技术的真空阀门,可以快速调节真空腔体制程压力,*隔绝真空侧和大气侧,APC蝶阀具有外形尺寸小、使用寿命长、易维修等特点,搭配HtcAPC软件,可以简单快速地设定并监控制程压力。

APC蝶阀,广泛应用于半导体、光电产业、太阳能产业、CVD制程等行业,安装在真空泵组与真空制程腔室之间,通过真空计反馈的电压值控制蝶阀密封板开度大小,从而达到调节腔室压力的目的。

本次实际使用的蝶阀型号是ISO63BFVC/RS485,通过自带的软件,可以进行如下功能的设定:阀门位置、真空压力、目标压力、JOG+OPEN全开、CLOSE全闭、JOG-、HOLD(马达锁定,所有命令无效)等。

真空计的设定,重新设定压力范围(例如讲0.1Torr改为1Torr)后,要关掉软件,再重新打开软件,更改设定才会有效。对应真空计0-10V的设定压力值,具有线性特性。

马达的PID调节,将I=0.1D=0,调整P参数有1增加到马达有震动之后将该值除以2,则为P之设定值。

使用RS485接口时,两次讯息之间必须间隔7个字节以上的时间。

整个过程,调试方便顺利,控制精度高、反应迅速,整个工况让客户非常满意!

 

深圳市科锐诗汀科技有限公司,集中国台湾日扬(Htc)真空阀门、真空腔体、真空管件、英福康(Inficon)真空计、检漏仪、晶振片、安捷伦(Agilent)真空泵于一体的真空系列产品提供商,竭诚为真空行业提供高质量的产品和服务!

作者:深圳市科锐诗汀科技有限公司销售部

备注:以上文章内容为相关说明书节选

 


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