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膜厚监测和控制仪使用过程中的注意事项

发表时间:2023-02-01      点击次数:174
  膜厚监测和控制仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。
  
  膜厚监测和控制仪的特点:
  
  1、可以测量多层膜中每一层的厚度
  
  2、三维的厚度型貌
  
  3、远程控制和在线测量
  
  4、可做150mmor300mm的大范围的扫描测试
  
  5、丰富的材料库:操作软件的材料库带有大量材料的n和k数据,基本上的常用材料都包括在这个材料库中.用户也可以在材料库中输入没有的材料.
  
  6、软件操作简单,测速快:膜厚测量仪操作非常简单,测量速度快:100ms-1s.
  
  7、软件带有构建材料结构的拓展功能,可对单/多层薄膜数据进行拟合分析,可对薄膜材料进行预先模拟设计.
  
  8、软件带有可升级的扫描功能,进行薄膜二维的测试,并将结果以2D或3D的形式显示.软件其他的升级功能还包括在线分析软件,远程控制模块等
  
  膜厚监测和控制仪使用过程中需要注意以下事项:
  
  1、测量应为点接触,严禁将探头置于被测物表面滑动。
  
  2、测量时,探头应保持在待测点中心,探头外围不要悬空在待测面外。
  
  3、远离强磁体(磁铁、音响等)和强电磁场(变压器、电磁炉等)测量。
  
  4、仪器使用前,建议进行调零操作。
  
  5、请确保待测物体表面清洁,待测面上的灰尘和泥土等会影响测量结果。
  
  6、仪器显示lowbattery时,需换新电池。
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