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APC真空蝶阀介绍

更新时间:2024-02-02      点击次数:839

APC真空蝶阀介绍

日扬科技的APC真空蝶阀是一种可以通过电动马达控制蝶板的开度,从而调节真空腔体的压力的真空阀门,主要应用于半导体、光电面板、太阳能、CVD等产业的真空制程。

产品结构介绍:

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APC蝶阀一般被安装在真空泵组与真空制程腔室之间,通过真空计反馈的电压值控制蝶阀密封板开度大小,从而达到调节腔室压力的目的,搭配O型圈的设计,可以隔绝真空侧与大气侧,防止污染和泄漏。

控制系统介绍:日扬的APC真空蝶阀的控制器和执行器集成在一体,可以通过多种通讯接口(如MODBUS、DeviceNET等)与外部控制器或软件进行通信。APC真空蝶阀的控制器还具有友善的用户界面,可以方便地设定和监控阀门状态,以及设置控制参数、循环寿命、压力公差范围等。

非常快速准确的压力控制

*开阀门位置控制
*备用电源:有,用于停电时关闭阀门。
*传感器电源:24V DC 和±15V DC 均有
 *2 个线性传感器或模拟线性物理量的输入
*模拟量和数位控制
*环境温度:≤ 70°C max.(控制器部分-24HR)
*远端控制(供客户选择)
*阀门可由主机(本地控制)通过RS232控制;用于初始调整。
*状态和位置以绿色4位亮数字显示。

日扬APC蝶阀具有控制压力精确、反应时间短、使用寿命长、易维修等特点,搭配Htc的APC软件,可以简单快速地设定并监控制程压力。


>>设置控制调整参数:PID GAIN

>>压力和位置控制模式

>>附表测试模式=> 1 cycle schedule

>>设置阀打开/关闭速度

>>记录APC HW/SW 版本, 序列号和型号

>>记录阀门循环和运行时间

>>设置公差范围的压力

>>循环寿命和压力控制记录

>>控制器参数上传和下载

>>断电保护功能

>>屏幕截图

>>压力学习功能






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