真空溅射的应用范围

工业部门	应用实例	备注
电子工业	半导体材料、电介质材料、导电材料、超导材料、太阳能电池、集成线路及电路元件等	低基片温度
机械工业	耐蚀、耐热、耐摩擦性能保护性材料等	厚膜
光学工业	反射膜、选择性透光膜、光集积回路、反射镜保护膜	低基片温度
装饰	塑料涂层、陶瓷涂层、彩虹包装等	厚膜
航天及交通	导电玻璃	挡风玻璃

电子工业：半导体材料、电介质材料、导电材料、超导材料、太阳能电池、集成线路及电路元件等。低基片温度
机械工业：耐蚀、耐热、耐摩擦性能保护性材料等。厚膜
光学工业：反射膜、选择性透光膜、光集积回路、反射镜保护膜。低基片温度
装饰：塑料涂层、陶瓷涂层、彩虹包装等。厚膜
航天及交通：导电玻璃。挡风玻璃