前载式双探头特点详情

   INFICON 前载式双晶体探头提供验证的可靠性和持久性, 与市场上任何探头探头相比, 具有的热稳定性. 双探
头提供备份晶体, 在真空室内需要第二个晶体的关键过程中是至关重要的.

    对于从侧面插入无足够空间的应用, 前载式结构易于插入晶体架. 采用机械装配代替焊接, 必要时可现场方便地更换
部件. 探头可单个订购或订购探头 / 法兰组合, 可选焊接的或直口接头装配的结构.
探头配置
前载式双探头的标准配置中水管与晶片平行. 当*晶体监测
沉积速率时, 气动晶体挡板保护备份晶体. 挡板是下拉式结构,
便于更换晶体. 为有效地消除 RF 干扰, 暴露的晶体电极是全部接地的.
法兰

    INFICON 提供两种法兰, 1" 螺纹法兰或2¾" （CF40） ConFlat® 法兰法兰.
按用户要求可提供 KF40 法兰.
法兰连接
前载式双探头可订购与法兰的组合. 探头 / 法兰连接可采用直口接头或焊接 （当与 1" 螺纹法兰组合时）. 如需焊
接连接, 必须在订购前填写 INFICON 提供的一个探头长度规格表. 直口接头易调整, 无钎焊或焊接的要求. 法兰
可沿着管长移动, 对于 "E" 长度探头, 在真空系统内的长度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 （8"- 28"） 的范围内调整,
对于 "G" 长度探头. 一旦确定所需长度, 直口接头可用手指拧紧管密封件.
优 点
■ 双晶体
■ 晶体挡板
■ 前载式晶体支架
■ 如订购直口接头的, 可调节长度
 ■ 可提供:
- 2.54 厘米（1"） 螺纹法兰
- CF40 法兰
■易安装
■ 如订购直口接头的,无需钎焊或焊接至法兰
■ 可按客户要求提供特定长度焊接的探头/ 法兰组合.
探头 1 探头2 探头1
探头2
前载式双传感器2
DL –
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订购资料
前载式双探头 （带真空内电缆）
探头型号 （包括真空内电缆, 晶体抓住器和用户手册. 晶
体单独销售）
双探头 （水管与晶片平行）
带挡板…................................................................................... A
探头长度– 见注1 和注3
标准长度 – 203 毫米（8"） 至 711 毫米（28"） 包括两根
781 毫米 （30.75"） 真空内电缆. 见注6 ................................................ E
延伸长度– 大于 711 毫米（28"）; zui大1219 毫米 （48"）
包括 1524 毫米 （60"） 真空内电缆.
见注 6 .................................................................................................... G
法兰
无............................................................................................................ 0
2.54厘米（1"） 螺纹....................................................................... 3
CF40....................................................................................................... 4
法兰连接
探头未连接法兰 ...................................................................... 0
探头焊接至法兰 ..................................................................... 7
可变长度带 Ultra-Torr 直口接头. （使用直口接头使
探头长度可变） ........... 8
未提供下列组合 （见注4 和 5）: DL-AE47, DL-AG47