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前载式双探头

发表时间:2011/5/20      点击次数:1717

前载式双探头

      前载式结构易于插入晶体架. 采用机械装配代替焊接, 必要时可现场方便地更换
部件. 探头可单个订购或订购探头 / 法兰组合, 可选焊接的或直口接头装配的结构.
探头配置

     前载式双探头的标准配置中水管与晶片平行. 当*晶体监测
沉积速率时, 气动晶体挡板保护备份晶体. 挡板是下拉式结构,
便于更换晶体. 为有效地消除 RF 干扰, 暴露的晶体电极是全部接地的.

    法兰
INFICON 提供两种法兰, 1" 螺纹法兰或2¾" (CF40) ConFlat® 法兰法兰.
按用户要求可提供 KF40 法兰.

    法兰连接
前载式双探头可订购与法兰的组合. 探头 / 法兰连接可采用直口接头或焊接 (当与 1" 螺纹法兰组合时). 如需焊
接连接, 必须在订购前填写 INFICON 提供的一个探头长度规格表. 直口接头易调整, 无钎焊或焊接的要求. 法兰
可沿着管长移动, 对于 "E" 长度探头, 在真空系统内的长度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 (8"- 28") 的范围内调整,
对于 "G" 长度探头. 一旦确定所需长度, 直口接头可用手指拧紧管密封件.

优 点
■ 双晶体
■前载式晶体支架
■晶体挡板
■ 易安装
■ 可提供:
- 2.54 厘米(1") 螺纹法兰
- CF40 法兰
■ 如订购直口接头的, 可调节长度
■ 如订购直口接头的,无需钎焊或焊接至法兰
■ 可按客户要求提供特定长度焊接的探头/ 法兰组合.
 

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