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| 配置和技术参数： |
| ▲真空室箱体：304不锈钢1600*1800mm，并可以根据客户具体要求设计非标产品 ▲夹具方式：6轴公自转行星式齿轮结构，工件速度在1-30转/分钟可调。 ▲控制气体方式：采用质量流量计控制，进气稳定，反映速度快。 ▲多弧靶:15套三组多弧蒸发源，从上到下五个弧源一组，真空室体两侧个一组，门上一组 ▲磁控溅射阴极：圆柱靶磁控溅射阴极一套，Ф80X1600；严格缜密的磁场设计和磁场布局，刻蚀均匀。 ▲抽真空参数：从大气抽至5*10‾³Pa≤15min 极限真空度8*10‾4Pa ▲抽气系统：采用国产品牌机械泵、罗茨泵、扩散泵，根据其真空室大小确定合理型号。也可以根据客户的需要配备分子泵或者进口泵等。 ▲电源：逆变电弧电源，磁控溅射可配置20KW中频电源或直流脉冲电源 ▲PLC控制系统：有手动和自动，全系统具有互保护, 泵阀互锁 |
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