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EXTORR四极质谱分析仪

发表时间：2012/5/4      点击次数：3265

 

特点及应用：
•操作简单
•可靠，方便
•在线原位分析真空环境及工艺气体
•定性或定量分析监测溅射镀膜反应工艺过程中真空室内的气体分压强
•优化工艺过程参数，提高镀膜产品质量
•对真空系统检漏
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