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INFICON的晶振片使用方法

发表时间:2013/8/12      点击次数:4017

晶体的质量和寿命不仅影响速率和厚度测量的准确性,更重要的是还决定着受控制的过程能否成功完成。INFICON 石英晶体具有经过实践验证的品质和可靠性,其在各种材料、应用和行业中的无数次成功的过程运行充分证明了这一点。

    我们的 6 MHz 晶体可与所有 INFICON 控制器和监控器结合使用。而 5 MHz 晶体只能与 5MHz 仪器结合使用;与有些 INFICON 仪器并不兼容。6 MHz 和 5 MHz 晶体具有金、银或合金三种电极并根据您的需要采用各种包装。

 

如果选用zui合适的晶振片?

  1. 金是zui广泛使用的传统材料,它具有低接触电阻,高化学稳定性,易于沉积。用于低应力材料,如Al、 Au、Ag、Cu。
  2. 银是接近的电极材料,有非常低的接触电阻和优良的塑变性。然而容易硫化,硫化后的银接触电阻高,降低晶振片上膜层牢固。银铝合金适合高应力膜料的镀膜监控;所以使用镀银或银铝合金镀高应力膜,如:Ni、 Cr、 Mo、 Zr、 Ni-Cr、 Ti等。
  3. 使用银铝合金晶振片镀介质光学膜,如:MgF2、 SiO2、 Al2O3、 TiO2等。
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