磁控溅射阴极技术及特点

更新时间：2015-09-18 点击次数：1664

磁控溅射阴极核心技术及特点：

1.特殊设计的磁体结构，使得磁场线跨度范围更宽，从而提高靶材的利用率和膜层的均匀性

2.湍流冷却技术，使得水流能够更平缓的进入阴极，从而提高冷却效果

3.特殊设计的耙材固定结构，使得耙材更换起来更简单，降低停工期

4.*的磁体材料 NdFeB，他的强度比其他的稀土磁体要强30%

磁控溅射阴极优势

1.*的靶材利用率，zui高可以达到50%，从而降低靶材成本

2.*的产品均匀性，zui高可以达到±3%

3.可以在更低的真空以及更高的功率下运行：zui低压力可以达到10-4TOR

4.我们的直接水冷结构可以提高其功率密度达到250Watt s/in2

5.提高沉积速率

6.多样的复合设计

7.高标准率

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