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石英晶振片的原理

更新时间:2015-09-18      点击次数:2272
随着经济的发展和社会生活水平的提高,真空镀膜技术在越来越多的领域使用,如何监控淀积的膜厚,目前采用石英晶体振荡监控法和光学膜厚监控法,我司多年来的经验与同仁共同控讨。
 
石英晶振片原理
 
石英晶体法监控膜厚,主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层,使晶振片的厚度增加,则晶振片的固有频率会相应的变化。
 
显然晶体的基频越高,控制的灵敏度也越高,但基频过高时,晶体片会做得很薄,很薄的晶体片易碎,一般选用AT切型频率5~10MHz。采用AT切晶体片,其振动频率对质量的变化极其灵敏,但却不敏感于温度的变化,具有精度高、灵敏度好等*的优势,非常适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。
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