INFICON薄膜镀层控制仪的性能特点

更新时间：2015-09-18 点击次数：1437

INFICON薄膜镀层控制仪的性能特点：

a）INFICON Modelock技术确保的稳定性，甚至在非常低的速率下也能有zui高的分辨率和膜厚测量精度。

b）Auto Z由自动确定沉积材料的Z-比值来提高膜厚的精度。

c）同时多至6个蒸发源的共镀膜。

d）彩色的TFT LCD显示器使您对整个镀膜进程一目了然。

e）扫描100毫秒样品的分辨率为+/-0.0035Hz。

f）USB数据贮存用于截屏，配方贮存和数据记录。

g）强有力的I/O具有灵活性（用扩展的输入（28）和输出（24继电器，14TTL输出）集成在单个或复杂系统中，和使用逻辑功能（100逻辑语句）

h）6DAC输出标准，6个用于源控制，速率或膜厚监测的附加选件。

i）容纳50过程，每过程200膜层，可链接zui大10,000膜层。

j）多传感谢器取平均值，多至8传感器。

k）显示速率分辨高至0.001A/秒

l）4米XIU选件为大型系统提供可使用长的真空内传感器电缆的能力。

m）以太网通讯选件。

n）RoHS认证

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