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INFICON薄膜镀层控制仪的性能特点

更新时间:2015-09-18      点击次数:1409
INFICON薄膜镀层控制仪的性能特点:
 
a)INFICON Modelock技术确保的稳定性,甚至在非常低的速率下也能有zui高的分辨率和膜厚测量精度。
b)Auto Z由自动确定沉积材料的Z-比值来提高膜厚的精度。
c)同时多至6个蒸发源的共镀膜。
d)彩色的TFT LCD显示器使您对整个镀膜进程一目了然。
e)扫描100毫秒样品的分辨率为+/-0.0035Hz。
f)USB数据贮存用于截屏,配方贮存和数据记录。
g)强有力的I/O具有灵活性(用扩展的输入(28)和输出(24继电器,14TTL输出)集成在单个或复杂系统中,和使用逻辑功能(100逻辑语句)
h)6DAC输出标准,6个用于源控制,速率或膜厚监测的附加选件。
i)容纳50过程,每过程200膜层,可链接zui大10,000膜层。
j)多传感谢器取平均值,多至8传感器。
k)显示速率分辨高至0.001A/秒
l)4米XIU选件为大型系统提供可使用长的真空内传感器电缆的能力。
m)以太网通讯选件。
n)RoHS认证
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