瑞士inficon电容式膜片真空计的优点与应用

更新时间：2016-09-26 点击次数：1216

拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗

易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点

轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移

诊断端口用于快速维修和维护

两年保修服务，加热概念和真空计保护延长了使用寿命

的信号稳定性和可重复性，即使是zui苛刻的等离子应用，都无需长期执行重新校准

合规性与标准： CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程

化学和腐蚀性高温过程

需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

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