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瑞士inficon电容式膜片真空计的优点与应用

更新时间:2016-09-26      点击次数:1071
 瑞士inficon电容式膜片真空计的优点与应用
 
拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
轻松一键调零或远程信号调零指令,可调零点偏移
诊断端口用于快速维修和维护
两年保修服务,加热概念和真空计保护延长了使用寿命
的信号稳定性和可重复性,即使是zui苛刻的等离子应用,都无需长期执行重新校准
合规性与标准: CE、EN、UL、SEMI、RoHS
 
典型应用
用于刻蚀、CVD、PVD 和其他半导体制造过程
化学和腐蚀性高温过程
需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
0755-26028990
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