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电容薄膜规的应情况介绍

更新时间:2016-09-26      点击次数:1308
电容薄膜规要求高的应用条件下,而快速的压强测量
1、用于刻蚀,CVD,PVD,ALD半导体设备制造,如太阳能光伏行业的PECVD用的很多,刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多,抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多,如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1  2000sccm/NH3,国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。
2、资料贮存和显示器制造设备
3、工业真空设备
4、常用高精度真空测量
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