真空系统前级泵抽速选择

前级泵抽速选择

排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的zui大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：

PnSg≥PgS 或

Sg≥Pgs/Pn

Sg－前级泵的有效抽速(l/s)

Pn－主泵临界前级压强(zui大排气压强)(l/s)

Pg－真空室zui高工作压强(托)

S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)