真空的由来及制造真空的设备——高真空镀膜机

更新时间：2011-02-23 点击次数：2440

    科学技术飞跃的今天，光电技术的发展与应用已经深入到各行各业，但是其制备的必须设备——真空镀膜机器，由zui初的复杂化、手动化和只能被应用到军事科研领域，发展到现在的简单化，集成化，智能化，并且被广泛推行及民用，价格也由之前的几千万一台降到现在的几百万就可以买到。光电技术的发展必然以真空技术为基础。

    镀膜机是集多门学科一体的精密仪器，尤其在机电技术的应用方面，甚为广泛，所以，机电一体化技术是真空技术的基础。镀膜设备的进步与发展也充分体现了机电技术的价值。

   “真空”一词来自希腊语，原本是虚无的意思，人类对真空的研究和应用由来已久，对它并不陌生。到今天，真空技术作为一门应用科学，与人类的生活已经密不可分。

   zui初人们为了获得真空，做了大量试验，比如zui的“马德堡半球试验”，人类还发明了抽气泵，用来对密闭的容器进行抽气，以求获得真空，随着人类对真空技术的研究与不断探索，同事也发明了测量真空的诸多方式，时至今日，真空技术已经广泛应用于工业，军事，农业，科研、半导体、显示技术等，真空技术的发展与应用，大大促进了生产力的发展。

   现在，人类已经能通过特制的容器获得超高真空，同时，制作了各种仪表测量真空度，不仅如此，还制作各种设备，比如：真空镀膜机器，就是应用zui广泛的仪器。

   镀膜机按照其应用领域的不同可以分为电子枪热蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子镀膜机、射频镀膜机等，但是他们的结构都一样，以光学镀膜机为例，主要有三大部分组成：真空主体——真空腔，辅助排气系统（包括排气系统、真空测量系统）、蒸发系统（包括坩埚及回转控制系统、电子枪柜）、成膜控制系统。

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