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真空的由来及制造真空的设备——高真空镀膜机

更新时间:2011-02-23      点击次数:2517
    科学技术飞跃的今天,光电技术的发展与应用已经深入到各行各业,但是其制备的必须设备——真空镀膜机器,由zui初的复杂化、手动化和只能被应用到军事科研领域,发展到现在的简单化,集成化,智能化,并且被广泛推行及民用,价格也由之前的几千万一台降到现在的几百万就可以买到。光电技术的发展必然以真空技术为基础。

    镀膜机是集多门学科一体的精密仪器,尤其在机电技术的应用方面,甚为广泛,所以,机电一体化技术是真空技术的基础。镀膜设备的进步与发展也充分体现了机电技术的价值。

   “真空
一词来自希腊语,原本是虚无的意思,人类对真空的研究和应用由来已久,对它并不陌生。到今天,真空技术作为一门应用科学,与人类的生活已经密不可分。

   zui初人们为了获得真空,做了大量试验,比如zui的马德堡半球试验,人类还发明了抽气泵,用来对密闭的容器进行抽气,以求获得真空,随着人类对真空技术的研究与不断探索,同事也发明了测量真空的诸多方式,时至今日,真空技术已经广泛应用于工业,军事,农业,科研、半导体、显示技术等,真空技术的发展与应用,大大促进了生产力的发展。


   现在,人类已经能通过特制的容器获得超高真空,同时,制作了各种仪表测量真空度,不仅如此,还制作各种设备,比如:真空镀膜机器,就是应用zui广泛的仪器。
    
   镀膜机按照其应用领域的不同可以分为电子枪热蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子镀膜机、射频镀膜机等,但是他们的结构都一样,以光学镀膜机为例,主要有三大部分组成:真空主体
——真空腔,辅助排气系统(包括排气系统、真空测量系统)、蒸发系统(包括坩埚及回转控制系统、电子枪柜)、成膜控制系统。
 
    

             

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