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真空规管的3种分类及说明
真空规管的3种分类及说明
更新时间:2018-09-19 点击次数:3658
真空规管
就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域,如真空镀膜,太阳能集热管制作,真空冶炼等。
规管的分类
1、热偶规
目前国内的热偶规主要有51系列,53B/54D等。主要应用于低真空测量。
2、皮拉尼系列(电阻规管)
目前国内的电阻规型号主要是52T系列。主要以用于粗低真空测量。
PG-500 配合表头使用
PG-600 通讯型 数字信号直接接入PC机
PG-700开关型 可以直接设定控制点,进行控制
3、热阴极规管
主要型号有ZJ-2系列,ZJ-10系列,ZJ-27系列,B-A规等。
该型规管主要应用于高真空测量。
4、冷阴极规管(冷规)
如磁控规等
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低温下吸附剂对真空阀真空度的影响
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阐述真空规管的使用操作
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