阐述检漏仪在电弧炉真空系统中的连接

检漏仪检漏口的位置通常可以连接在图1 中虚线A 或B 的位置，因为这两处均能达到检漏仪检漏口小于1000 Pa 的工作要求，对于粗检两个位置都能够达到要求，但对于系统的小漏，位置的选择则相当关键，对于核级锆铸锭的生产来说，当漏率介于0.65~1.5 Pa/min 时更要注意位置的选择。主要原因是由于：该型号的检漏仪分为检测大漏、中漏和微漏，当检漏口14的压强100 PaPa<Pa<1000 Pa 时检漏仪V1 和V2打开，氦气部分分子沿分子泵排气口逆流进入质谱室，因此只有当氦气分子较多时才能被检测到；当压强10 Pa<Pa<100 Pa 时，检漏仪关闭V2，打开V3，V1 阀，此时氦气分子较多沿4 处分子泵进气口1 逆流进入质谱室中，可以检测到系统的中漏；当Pa <10 Pa 时，检漏仪关闭V3，打来V4、V1 阀，此时氦气分子大部分沿15 处分子泵进气口2 逆流进入质谱室中，达到检测微漏的效果。

 

　　由于在正常工作时机械泵进气口A 处的真空度受管道气密性及泵本身的抽空能力等因素的影响，通常真空度可能在20~200 Pa 的范围内，因此真空技术网(http:///)认为对于检测中漏来说，有可能导致检漏仪的V3 阀无法打开，使得中漏的部分漏孔无法检测出来，这也是为什么在现场检漏过程中有时无法检测出漏点的主要原因。

 

　　小罗茨泵进气口B 处实际上是机械泵与罗茨泵在联合抽空，真空度通常保证在10~30 Pa 范围内，能够保证检漏仪在中漏的范围内进行工作，即氦气从4 或15 处逆流进入质谱室中，保证检漏仪的稳定可靠工作。