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号外:INFICON推出的RGA新产品

更新时间:2020-04-02      点击次数:1096

LINXON 是真空仪器的全新*品牌, 由真空行业创新仪器的供应者 INFICON 设计和制造。LINXON myRGA  四极质谱仪以的高性价比提供高性能设备, 通过精选的本地合作伙伴(科锐诗汀)销售, 并可以通过视频教程对常见问题进行解答, 满足普通真空和科研市场的生产、研发、集成和支持的需求。

    

LINXON myRGA优势

  1. 可靠的残余气体分析仪,以非常优惠的价格提供空气泄漏和污染检测所需的性能。
  2. 使用 myRGA, 无需安装软件。 该仪器由集成的机载网页服务器,通过网页浏览器操作, *独立于您的操作系统。通过 PC, 平板电脑或智能手机访问 myRGA的机载网页,服务器可动态适应您的屏幕尺寸和分辨率. 如您愿意使用 LabVIEW 软件操作 LINXON myRGA, 随机附有 LabVIEW 软件开发套件. 使用提供的 LabVIEW 驱动程序示例来定制软件,满足您的需求。
  3. 软件可提供中英文双语种,为英文或中文不佳的用户提供多种选择。
  4. 适用于多种细分行业,例如:真空镀膜行业。

与使用哪种 PVD 类型的过程 (EB-PVD, IB-PVD, 或标准 PVD) 无关, LINXON myRGA 均可提供与任何其他监测方法不同的系统视图。无论是监测工艺室是否漏气, 还是监测气体管线是否被污染,如果您需要找出工艺室未 达到基本真空的原因, 可使用内置的检漏功能有效地查找泄漏所在。

热处理,任何低压热处理应用都可受益于使用 LINXON myRGA。如对某特定气体是否与所用的金属发生相互作用有疑问,  myRGA 可监测其质量数, 并显示其存在和相对含量。 myRGA 还可用于实时泄漏监测或在基本压强下的手动检漏。

  1. 新型通道式电子倍增器,延长使用寿命, 提供比法拉第杯 (FC) 高的灵敏度和高的增益。新传感器设计提供了可现场更换电子倍增器 (EM) (如配备) 的附加好处. 在定期的维护日程内可现场快速更换 EM
  2. 用于 myRGA 传感器的现代化离子源设计将两根灯丝集成在阳极, 阴极和反射极的组装件中,双灯丝设计中包含一根可使 RGA 具有大上线时间的备用灯丝。使用 myRGA, 还可获得特定应用的灯丝选择 (钨丝用于含卤素的过程或涂敷氧化钇的铱灯丝用于含氧的过程), 增加灯丝的寿命. 更换 myRGA 中的灯丝套件相当于更换传统 RGA的整个离子源, 节约成本, 从而大大地降低总体拥有成本。

    例如:UHV 电子束成长市场,工艺制程监控及污染物的探测, RGA 是*的,其成长过程可持续 9 个月或更长,在真空状态下不能因为灯丝损坏而中断真空,采用LINXON myRGA可以很好地解决这个问题。

  1. LINXON myRGA的另一个关键特征是能够在与质谱仪并行运行的同时测量总压强. 这个压强测量 可用于灯丝的保护。
  2. 新型馈入件结构便于连接电子单元控制器。
  3. TCP/IP 以太网连接,可通过以太网现场固件升级。基于互联网浏览器平台可观察多个屏幕 ,例如在UHV 加速器/对撞机市场,可以很方便地实现监测、检漏、诊断、调谐等功能。
  4. 高速数据收集为好的统计学的制程控制 (SPC) AEC/APC给出更多的统计数据。现代化的电子单元,具有超快数据收集 1 毫秒测量时间,意味着在工艺制程中关键点收集更多的数据点,提高数据分辨率用于真空阀件的检漏, 当需要时给出更多的数据点。

深圳市科锐诗汀科技有限公司可以为有需要的客户提供软件定制服务,满足您提升设备个性化的需求。

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