1. 皮拉尼真空计原理加bai热电阻丝,使之升温至需要的du工作温度由于气体粒zhi子与 电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系
2. 衍生出两种类型的皮拉尼规
1) 稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度
2) 稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)
3. 气体的热传导,与下列提条件有关:
1) 气体类型 2) 压力大小
4. 皮拉尼真空计测量范围与精度测量范围(空气,氧气,一氧化碳,氮气):5 x 10-4至 1000 mbar 精度(氮气):1x 10-3… 100毫巴±15%
5. 皮拉尼真空计的优特点灯丝部分在不影响精度与速度的情况下,加以大的保护,大大延长了灯丝的使用寿命
6. 皮拉尼真空计具体型号
皮拉尼电容膜片复合真空计
1) 有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
2)两种原理的规管全过程都工作
3)100 mbar—1000 mbar 使用薄膜规信号
4)1 mbar– 100mbar 两规信号同时采用
5)5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号
6)输出的真空度信号(电压)连续,无跳跃
7) 皮拉尼真空计应用行业 l 各种高真空泵的前级压力测量,如光伏,镀膜,等离子行业 l 各种中低真空测量,如照明,冶金 l 真空连锁控制,高真空计的点火开关控制