如何选择电容薄膜规

1. 电容薄膜规工作原理 l 压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系 l 通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度

2. 电容薄膜规特点 l 以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成 l 在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量 l 快速的预热和恢复时间,提高生产率 l 的长期稳定性,再现性和重复性 l 由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性 l 对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定 l 快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入 准备使用状态 l 一键按钮: 调零功能和设点调整 l 抗腐蚀超纯陶瓷传感器 l 能经受数百万次压强循环周期,包括大气压 冲击,无任何降低性能的迹象 l 暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀 l 对蒸气介质不敏感 l 传感器屏蔽 延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命

3.陶瓷技术 l 陶瓷技术的优越性

1) 无 “记忆” 效应

2) 陶瓷无疲劳问题

3) 好的温度补偿

4) 的零点稳定性 l 低使用成本

5) 非凡的使用寿命

6) 无需隔离阀

4. 测量范围

5. 加热型薄膜规

6. 加热型优点 l 零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境） l 更高的精度 l 环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响 l 比工艺更快的预热启动时间’ l 快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV l 任意安装角度 l 抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

7. 电容薄膜规的应用要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量 l 用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的比较多，抗污染性能比较好。