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详细介绍MKS1179A质量流量计的性能参数

发表时间:2020-05-12      点击次数:930
MKS1179A质量流量计的技术参数:
 
1179A是一种通用型弹性密封的质量流量控制器,可在多种应用场合测量和控制气体的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力控制器,它还可以作为压力控制器使用。参数如下:
 
控制量程:2% to 的全量程。
测量精度:全量程的1%
灵 敏 度 :全量程的0.1%
热机时间:小于2Min.
响应速度:小于2Sec.
输入电压:±15VDC@100ma
输出电压:0-5VDC
连 接 器 :模拟: 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
             数字:RS485或Device net或Profibus
法兰接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材      质:316 不锈钢。
全 量 程 :10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
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