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干泵的应用

更新时间:2011-11-15      点击次数:2188

干泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺。在这些工艺中,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

近年来,干泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干泵。国内的许多单位也一直在进行干泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

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