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带你一起了解日扬“真空系统”

更新时间:2023-11-17      点击次数:280

真空系统是什么?

   半导体产业是实现中国“智"造和“自"造永远绕不开的热门话题,作为现代高科技产业的重要组成部分,其制造过程中涉及到许多高度精密的工艺和技术,其中真空系统作为半导体制造的关键环节之一,发挥着至关重要的作用。
    在常温和常压下,环境中包含着大量不纯净的物质,在半导体制造过程中,芯片容易受到氧化和污染,严重影响芯片品质和生产效率。所以半导体的生产需要在高真空环境下进行。而我们把能够精确控制真空环境来进行半导体材料及器件的加工与处理的系统,称为半导体的“真空系统"。

    半导体生产过程中的真空系统主要由真空零部件构成,它主要包括以下部分:

  1真空腔体:用于容纳待加工的半导体材料或器件。

  2真空泵:用于创建和维持高真空环境的泵,如离心泵、扩散泵、吸附泵等。

  3真空阀门:用于控制气体流动和隔离不同的真空室或部件。发挥着开闭、控制流量/流向、调节压力等作用。

  4 真空密封件:用于连接不同的真空室和管道,并确保系统的密封性能。例如真空法兰、橡胶圈、波纹管等。

  5压力计和真空规:用于监测和控制系统内部的真空压力。

  6观测窗口:用于在不破坏真空环境的情况下观察系统内部的部件和工艺过程。

   真空系统的作用:

   1.提供高度稳定和洁净的加工环境,去除颗粒、不需要的气体、水汽和沾污物,有助于减少杂质对半导体材料的污染。

   2.通过控制气压和气体成分,实现对半导体器件生长、制备和加工过程的精确控制,例如沉积、腐蚀、清洗等工艺步骤。

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