英福康展位:N5号馆 5671
一年一度的半导体行业盛会——SEMICON CHINA进入开幕倒计时!英福康也已准备好带您开启一场充满惊喜的“未来智能工厂检测技术探秘之旅"!今天,官微君“小福"将化身专属导游,奉上展台超全攻略,带您一起提前解锁现场精彩!
第一站:CDG系列真空计+清洁组件
第一站,我们来到“真空世界"!在这里,CDG系列陶瓷电容式真空计是绝对的明星。它们就像一位位“真空守护者",以极耐腐蚀的超纯陶瓷材料传感器,超高精度和稳定性,以及优异的使用寿命,确保半导体制造环境的洁净无瑕与长久可靠。
第二站:UL3000 Fab 氦气检漏仪
接下来,官微君将带您来到“泄漏zhentan站"!专为半导体制造领域的专业要求而开发的UL3000 Fab 可移动式氦气检漏仪,拥有“纤细身材"和“chaoqiang大脑",能够灵活穿梭于生产现场,快速定位泄漏点。无论是微小漏洞还是隐蔽问题,都逃不过它的“火眼金睛"!
第三站:Transpector CPX
第三站,我们来到“气体实验室"!Transpector CPX 残余气体分析仪(RGA)是这里的主角,这位“数据分析师",有着极快的测量速度和高探测灵敏度,能满足如ALD、CVD、PVD等半导体工艺的严苛要求,实时监测工艺气体成分,确保生产过程的每一步都精准无误。此外,相较上一代产品,其不仅系统体积减小了30%,能够更轻松地集成在产线内,还通过行业的抽气系统和温控加热组件简化了系统复杂度,让操作更加简便。
第四站:智能工具黄金组合
接下来是UL系列检漏仪的“智能工具乐园"!这里有:
SMART-Spray 氦气喷枪
无线、无管,无障碍,让氦气检漏更快、更准、更可靠。
I·BOOST 软件
超真空模式下,节省高达50%的泄漏检测时间,效率提升快到飞起!
SPRAY-CHECK 测试漏孔
快速验证检漏仪状态,确保每一台设备都“健康上岗"。
第五站:fabguard 智能过程监控软件
最后一站,我们来到“智慧中枢"!fabguard 智能过程监控软件,是英福康面向半导体未来工厂智能化、数字化需求的一个chaoqiang数据工具包。
在它的助力下,工厂内所有的流程设备、传感器与检测设施的各类数据都可被实时记录、传输、监测,并进行自动分析,不仅能为工厂建立起一个全面的故障检测机制,确保流程精准可靠,还能连通其他数据平台为半导体生产流程优化、工艺升级等提供科学的数据支持。想知道它是如何让工厂变得更聪明吗?快来一探究竟!