近日，上海日扬WEH®涂层工作室正式投产，从研发、生产、测试、涂装到售后全流程将在上海进行，欢迎各位工程师、学者前来参观。

【涂层实验室】

“WEH®涂装"是一种先进的纳米涂层处理工艺，现已成功应用于薄膜沉积和干刻蚀制程，是一种在真空环境下的高科技表面处理技术。该技术可以在材料表面上形成一层均匀、致密、具有特殊功能的涂层，减少工艺残留物的粘附，提高材料的抗腐蚀性和使用寿命。

WEH®涂层广泛用于半导体、太阳能电池、电子元器件、显示器、等产品的制造过程中，尤其是真空系统的设备以及零部件中，应用范围非常广泛。

【WEH®涂层特点】

WEH®涂层经市场验证可以有效保护部分制程特别是例如AI-Pad、ALD和MOCVD制程中所需的真空设备例如真空泵、腔体、阀门与管道，这些设备与零件有着非常高的精度和技术要求，一般来说价值不菲，而后端工艺残留物的堆积导致设备要停机维护，这意味着它们的维护周期对产线稼动率和生产效益的影响非常大。WEH®涂层涂装可显著缓解零部件以及设备的粉尘堵塞难题。

【应用案例】

日扬科技提供真空系统领域的整合服务，包括真空阀、腔体、真空零配件以及后端尾气处理设备Scrubber和特殊真空纳米涂层材料WEH®，致力于帮助客户解决所有真空系统难题，实现各阶段的降本增效，做客户真正有价值的伙伴。