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本公司代理德国 ph-instruments SRG 旋转转子真空计
尊敬的新老用户:
您好!本公司代理德国 ph-instruments SRG 旋转转子真空计,与传统离子规对比: SRG 旋转转子真空计精度高, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号(无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等), 适用于半导体, 低温真空绝热, 高精度真空计校准系统,欢迎咨询。
工作原理:基于旋转转子规技术,当气体分子在运动体(球体)表面吸附后又解吸时,会使其减速,通过测量运动体的减速速率即可确定气体压力。测量管内置一个 4.5mm 滚珠轴承球作为压力传感器,机头通过电磁力与球相互作用,无触点测量旋转球在运行过程中的旋转频率变化,根据转速衰减情况测量真空度1。
产品特点
测量精度高:如 VIM-2 型号在 0.01mbar 至 1×10⁻⁶mbar 精度可达 1%,在 10mbar 至 0.1mbar 精度为读数的 10%,0.1mbar 至 1×10⁻⁸mbar 精度为读数的 1%2。
长期稳定性好:每年漂移小于 1% 或 1.5%,数据稳定,无需定期频繁检定2。
对真空系统无干扰:测量过程中无需穿通件、电子元件、插头等,没有热量传递或机械效应影响真空条件,可在不干扰真空系统的情况下进行测量2。
经济高效:数千个传感器可共用一个读数电子单元 / 测量头,结构简单的传感器 / 管件,无需额外阀门,降低了成本2。
操作简便:例如 VIM-2 只需将测量头插入管件,且有多种供电方式,如电网或电池供电,便于移动使用和在不同场景下应用2。
适应多种环境:传感器管件采用全金属焊接结构,具有机械保护和超高洁净度,可用于户外等恶劣环境,能承受一定的温度范围,电子单元工作温度为 10°C 至 40°C,测量头为 10°C 至 50°C2。
技术参数2
测量范围:不同型号有所不同,如 VIM-2 的测量范围是 10mbar 至 5×10⁻⁷mbar。
接触介质材料:通常为 1.4404、1.4034 不锈钢。
安装方向:水平(±5°)。
模拟输出:0-10VDC(可配置)。
硬件接口:USB Type C、高密度 15 针数字接口 USB、RS485、RS232(服务用)等。
通信协议:Modbus 协议、ASCII 协议(可选)、LabView 驱动(可选)。
内部数据记录:如 VIM-2 可记录 1023 组数值。
电源要求:一般为 18-28VDC。
应用领域
医疗领域:在核磁共振系统(NMR)中,用于测量绝缘真空的质量及其随时间的变化,监测绝缘真空的变化,保证系统不泄露,防止热量进入,维护 NMR 设备正常运行。
工业领域:如 LNG / 液氢储罐的真空绝缘监测,可检测 10⁻⁶mbar 超低温真空,解决传统 Pirani 规无法测量的泄漏问题。也可用于半导体离子注入设备中,提供高精度测量,解决传统电离规的漂移、腐蚀问题,降低维护成本,提升设备稳定性23。
科研领域:在实验室和科学研究中,用于需要高精度、长期稳定真空测量的实验和设备,如真空镀膜、真空热处理、粒子加速器等领域,为实验提供准确的真空度数据。
TEL:0755-26028990