HTC日扬科技设计的全金属插板阀适用于超高真空的环境下(10⁻⁸Pa~10⁻⁹Pa),采用HTC Disc金属密封技术,其压力范围一般在UHV~1.2bar(abs),漏率zui di能做到<1×10⁻¹⁰ mbar・L/s的可靠密封。依据开启方式不同分为手动/气动式,以及是否有shielding射频屏蔽功能,可实现耐温150℃~250℃不等。近年来在国内的大科学装置研究、表面分析和半导体制造项目中,已经有许多成功试装案例,其zhuo yue可靠性得到市场验证。

推荐指数






-日扬全金属插板阀-
• 稳定开启,可靠隔离,适用于超高真空
• 全金属结构,耐极限高低温、抗辐射
• 可带RF/waveguide shielding功能
• 可作为微波传输线路中的隔离阀使用
1
CF35、CF63和DF78

全金属插板阀多用于高能物理实验室项目之中,故有着阻断射频信号泄漏 / 侵入,保障粒子束传输稳定的需求,于此要求插板阀带有射频屏蔽功能。此外,低漏率、耐高温、高洁净度、抗辐射、高寿命以及稳定可靠是衡量一款全金属插板阀优秀的重要标准,在这方面,日扬配合客户成功研制出CF35、CF63和DF78等型号的全金属插板阀,成为为数不多实现技术突破的国产厂商。


Class6千级无尘室生产
2
全金属插板阀相关案例

2020年,日扬与SHINE项目合作,在国内硬X射线自由电子激光装置项目之中,shou ci攻破全金属插板阀的金属与金属间硬密封、高精度定位等关键技术难题,并且样机成功交付,该全金属高频屏蔽门阀被安装在超导加速器电子束流通道中,工作在超高真空、超洁净、液氦低温、射频场和电离辐射复杂环境条件下。

点击图片查看详情
此后数年,日扬科技相继在CF35、CF63等尺寸阀门上获得突破。依据客户不同的实际环境需求,其他尺寸也在开发中,并持续提高性能、优化数据以真正实现国产替代,为国内的大科学装置研究贡献力量。


全金属插板阀验收与交付
3
CF35 RF气动全金属插板阀



4
CF63气动全金属插板阀



添加好友
添加好友