工艺优化 | 日扬科技真空直角阀全面升级

一、核心工艺优化与升级亮点

二、关键升级细节拆解

1. 全金属硬密封工艺革新

• 取消 O 型圈，采用波纹管 + 无氧铜（OFHC Copper） 组合密封，靠金属弹性形变实现密封，杜绝有机物污染。

• 波纹管材质升级为 SUS316Ti，抗高温蠕变与疲劳性能优于传统 304/316，寿命提升约 50%。

• 法兰接口升级为 CF‑R 可旋转式，安装时无需调整管路方向，装配效率提升 40% 以上。

2. 结构与精度优化

• 提升锥与阀座采用镜面研磨 + 超精密配研，配合公差控制在 ±2μm 内，启闭力矩降低约 30%，普通六角扳手即可操作。

• 波纹管与阀杆的焊接工艺改为激光焊接，焊缝气密性与强度显著提升，杜绝焊接泄漏风险。

• 新增双动式无波纹管设计与安全故障操作模块，适配半导体等对安全性要求ji gao的场景。

3. 工艺与测试体系升级

• 全流程引入氦质谱检漏（灵敏度 1×10⁻¹² mbar・l/s），100% 出厂检漏，批次不良率降至 0.1% 以下。

• 新增 “高低温循环 + 压差冲击" 老化测试，确保在 1×10⁻¹⁰ mbar~1000 mbar 压力范围长期稳定运行。

• 模块化设计：密封组件、波纹管、法兰可快速拆卸更换，维护时间缩短 60%。

三、应用场景与适配规格

• 典型应用：半导体刻蚀 / 沉积设备、高能物理实验装置、真空镀膜、核工业检测系统等需超高真空与低污染的场景。

• 标准规格：法兰支持 CF16/CF35/CF63，接口可选 KF/ISO/CF，口径覆盖 3/4–8 英寸，可定制特殊尺寸与材质。

• 控制方式：手动、气动（含电磁阀控制）、APC 精密压力控制，适配不同自动化程度需求。

四、升级后核心性能参数

• 压力范围：1×10⁻¹⁰ mbar~1000 mbar

• zui gao烘烤温度：开启 400℃，关闭 300℃

• 漏率：≤1×10⁻¹⁰ mbar・l/s（氦质谱）

• 法兰类型：CF‑R 可旋转式（标准 CF16/CF35/CF63，可定制）

• 使用寿命：全金属密封版本≥10⁵次循环（比 O 型圈版本提升约 3 倍）

五、总结与选型建议