MAG500 替代 PEG100 的说明

MAG500 替代 PEG100 的说明

一、 PEG100 停产与替代  PEG100 冷阴极真空计已于 2025 年底停产，现已停止接收新订单。但后续 INFICON 仍将提供售后服务。INFICON 在多年前就推出了 PEG100 的替代产 品：Gemini MAG500 冷阴极真空计。这两款真空计工作原理相同，理想的工 作场景也相同，它们都适合用于监测腔体的本底真空。如图，MAG500 有多 种货号可以选择，确保法兰、电气接口、模拟量输出范围选择正确，就可 以即插即用替换 PEG100。

二、 MAG500 与 PEG100 精度指标不同  如下图，MAG500 与 PEG100 的精度指标有区别。MAG500 在 1E-8 至 1E-2mbar 范围内都拥有±30%的精度，而 PEG100 仅在 1E-8 至 1E-4mbar 范围内拥有 ±30%的精度。当压力高于 1E-4mbar 时，PEG100 没有任何精度指标。

如上图所示，是在 INFICON 瑞士工厂进行的对比测试，当腔体内（空气/氮 气）真实压力高于 1E-4mbar 时，多支 PEG100 均出现了读值低于真实值， 非线性误差的现象。两款真空计均符合说明书指标。该实验说明了 MAG500 与 PEG100 在高真空下表现一致。当腔体压力高于 1E-4mbar 时，MAG500 读 值可能会明显高于 PEG100，这是由于 MAG500 测量相对 PEG100 更准确导致 的。

三、 冷阴极真空计具有气体选择性  PEG100 与 MAG500 均属于冷阴极真空计，该测量原理决定了：当真空计测量 同一个压力的不同气体时，读值也不同。INFICON 真空计都是以空气/氮气 进行出厂校准。如下图所示，以 MAG500 为例（可以部分代表 PEG100）展示 了不同气体的真实压力与测量到的压力的曲线。在很多镀膜设备中，会在 镀膜工艺过程中充入氩气，这被称为工艺压力。以氩气为例，当它在腔体 内真实压力为 6E-3mbar 时，其显示压力已达到约 1.5E-2mbar，即将触发冷 阴极真空计的超压保护。在量程范围内，冷阴极真空计测量氩气读值均会 明显偏高。

四、 测量工艺压力的理想选择——CDG045D  针对在过去使用 PEG100 测量了工艺压力，并且气体类型不是空气的设备， INFICON 推荐使用满量程为 0.1Torr 的 CDG045D 监测工艺压力。该真空计为 电容薄膜规，其特点是精度高，且不具有气体选择性，无论测量的是何种 气体，都能显示其真实值。使用 0.1Torr 的 CDG045D，其精度较高的范围是 0.1Torr 至 5E-4Torr(13.3Pa 至 6.6E-2Pa)，可以覆盖大多数设备原本 PEG100 监测的工艺压力范围。

五、 总结  整体来讲，MAG500 是替代已经停产的 PEG100 的zui jia xuan ze，它们在高真空下 表现一致，MAG500 也做到了超越前辈的精度指标。PEG100 在几十年的产品 寿命中被应用在了各种设备中，某些情况下 PEG100 被用来监测工艺压力。 若工艺气体中使用了氩气，结合 MAG500 与 PEG100 的精度差异以及冷阴极 真空计的气体选择性，会导致用于替代 PEG100 的 MAG500 读值明显偏高， 甚至触发真空计的超压保护。针对这种情况，INFICON 推荐使用精度更高、 不具有气体选择性的 CDG045D，用于监测工艺压力。