PEV-1的产品介绍

工作原理

二、核心技术参数

三、产品核心优势

1. 超长使用寿命：无电机、齿轮、弹簧等机械运动部件，几乎无机械磨损，适配 7×24 小时连续量产制程

2. 超快动态响应：毫秒级开度调节，快速抑制真空压力波动，镀膜工艺膜厚均匀性更好

3. 高洁净高密封：不锈钢阀体 + 前置微米过滤器，可防止粉尘划伤密封垫片造成内漏

4. 兼容性强：适配各类进口、国产真空压力控制器，开环 / 闭环两种控制模式

四、常用型号选型

1. PEV-1：标准款，1/4" Swagelok 卡套接口，

2. PEV-1-VCR：超高真空洁净款，1/4" VCR 外螺纹接口

3. PEV-1-001：原厂 Viton 密封维修包（易损备件，垫片老化漏气时更换）

五、典型应用场景

• 磁控溅射、ITO 导电膜、光学镀膜、装饰镀膜设备

• PECVD、等离子清洗、刻蚀、太阳能电池真空工艺

• 质谱仪、离子束设备、科研高真空实验平台

• 真空腔体精密微量进气、闭环恒压控制系统

六、安装使用 & 调试要点

1. 管路方向：阀体标注IN为进气端、OUT接真空腔体，严禁反向安装

2. 电压区间：最佳线性工作区间 30~80VDC；20~30VDC 为开启阈值，低压段线性度较差

3. 前置过滤：进气端必须加装精密过滤器，颗粒杂质会直接划伤氟橡胶密封面，造成yong  jiu内漏

4. 长期停机：设备停机时保持 0V 断电，阀门常闭保护密封件，避免垫片长期受压老化

5. 禁止超压：驱动电压绝对不能超过 100VDC，否则会直接击穿压电陶瓷，阀门yong jiu损坏

七、高频故障与排查方案

1. 阀门wan quan打不开

• 排查：BNC 线缆断路、控制器无 0~100V 输出、电压未达到 20V 开启阈值；压电陶瓷击穿损坏

• 解决：检测驱动电压、更换同轴电缆；陶瓷损坏需返厂维修或更换阀体

2. 阀门关闭不严、真空腔持续漏气（内漏）

• 原因：密封 Viton 垫片被粉尘划伤、长期高温老化

• 解决：更换原厂密封维修包，清洁阀座后重新装配，氦检复测漏率

3. 流量非线性、压力控制波动大

• 原因：进气压力不稳定、工作电压落在 20~30V 阈值区间、过滤器堵塞

• 解决：稳定气源压力，调整控制器输出区间避开低压阈值，清洗前置过滤器

4. 响应慢、稳压超调

• 排查：控制器 PID 参数不匹配、阀体内部轻微杂质卡滞

• 解决：重新整定压力控制器 PID 参数，拆解清洗阀体流道