GT800 NW50ARI8-4A集成式真空节流蝶阀

GT800 NW50ARI8-4A集成式真空节流蝶阀

GT800：集成式真空节流蝶阀（阀门 + 控制器一体），韩国 GENIUS，半导体工艺真空压力控制器

完整订货号：GT800 NW50ARI8‑4A

NW50=KF‑50 法兰；ARI8‑4A 为执行器 / 硬件配置后缀

型号分段解析

1. GT800一体化真空调速蝶阀，自带数字 PID + 自适应自动调谐控制器，用于腔体闭环压力控制，不是普通开关阀；面板数码管显示，DB9 传感器口、DB15 通讯接口，24VDC 供电。

• 功能：通过调节蝶阀开度，稳定工艺腔真空压力；半导体刻蚀、镀膜、RTP 设备常用。

• 控制模式：PID / Adaptive 自适应自动调谐。

2. NW50ISO‑KF50 快拆法兰，通径 DN50，卡箍密封，O‑ring AS568‑330。

3. ARI8‑4A（执行器配置码）

• ARI：电机驱动蝶阀执行器系列

• 8：执行器尺寸规格

• 4：硬件版本 / 行程参数

• A：密封材质（FKM 氟橡胶，半导体标准）

关键参数

• 法兰：NW50(KF50)

• 驱动：步进电机蝶阀（非气动角阀，之前我误判成角阀，纠正：这是节流蝶阀，连续开度调节）

• 供电：24 VDC

• 接口：J1 DB9（真空规输入），J2 DB15（设备通讯 / IO）

• 漏率：高真空 He 检漏 1e‑9 Pa・m³/s

• 适用压力范围：10⁻³ ~1000 mbar 工艺闭环控压