真空是一种不存在任何物质的空间状态,是一种物理现象。在“真空”中,声音因为没有介质而无法传递,但电磁波的传递却不受真空的影响。事实上,在真空技术里,真空系针对大气而言,一特定空间内部之部份物质被排出,使其压强小于一个标准大气压,则我们通称此空间为真空或真空状态。1真空常用帕斯卡(Pascal)或托尔(Torr)做为压力的单位。目前在自然环境里,只有外太空堪称zui接近真空的空间。
工业上的真空指的是气压比一标准大气压小的气体空间,是指稀薄的气体状态,又可分为高真空、中真空和低真空,地球以及星球中间的广大太空就是真空。一般是用特制的抽气机得到真空的。它的气体稀薄程度用真空计测定,我们已能用分子抽气机和扩散抽气机得到0.00000 00001大气压的高真空。真空在科学技术,电真空仪器,电子管和其他电子仪器方面,都有很大用途。
真空规管就是测量真空度的传感器。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理就可以显示出被测真空环境的真空度。主要应用于真空环境的真空度测量领域,如真空镀膜,太阳能集热管制作,真空冶炼等。
真空规管是测量部分,真空计是显示和控制部分。真空规管将测量到的真空度值以电信号传给真空计,真空计把电信号转换成相应的真空度数字值,并显示出来。有的真空计还可以输出自动控制信号。
真空规管包括:一阴极单元,一阳极,一屏蔽极,一离子引出极,一反射极和一收集极;该屏蔽极一端与该阴极单元相对应,该屏蔽极另一端与该离子引出极相对应;该离子引出极中心开设一离子引出孔;该反射极为曲面结构,该曲面围住屏蔽极靠近离子引出极的一侧;该收集极设置于该反射极曲面结构底部,并指向离子引出孔;该阳极固定于屏蔽极中间内部。具有体积小、功耗小、结构简单和灵敏度高的优点。
真空规管一般是装在真空镀膜室的位置,是指电离规管,玻璃管端部用老虎钳夹破一点,插进真空室密封好,必须大气状态完成。(还有电阻规它是测粗真空的,这种没有规管,就一个传感器)用来监测真空度的,,电离规开启一般是有要求的,当压强到3PA以下才开真空,可设置压强参数,到了会自动开,过早开会氧化电离规,导致烧坏。
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