INFICON 潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。
TripleGauge® BCG552 在一个传感器法兰中集成了 3 个真空传感元件。这款新型 TrigonTM 系列的旗舰产品具有极宽的测量范围,从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 传感器,BCG552 可用于压差测量,并在多个应用中用作真空开关。 支持的 Bayard-Alpert 双灯丝在 UHV 和 HV 范围内具有出色的精度、可重复。
对于需要独立热离子规技术的应用,Trigon™ 系列中包含了采用单一技术的 Bayard-Alpert 热电离规 BAG552。 BAG552 专为压力范围为 5 × 10-10... 2 x 10-2毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝,具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列VGC501、VGC502和VGC503配合使用。
对于测量范围要求从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用,Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了精度、可重复性和使用寿命。
离子基准真空计控制器IRC081及其用户界面是离子基准真空计IRG080的标准化的操作和显示界面IRC081与IRG080结合使用,可在10-8毫巴(10-6帕)至10-4毫巴(10-2帕)的范围内进行精确和参考的总压测量。IRC081为IRG080真空计参数设置提供本地控制。