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TG220F型/TG350F型/TG450F型复合分子泵 真空泵

简要描述:TG220F型/TG350F型/TG450F型复合分子泵*安装;小型;节能;迅速启动;可迅速停止排气;耐大气冲击能力强;多种通信模式*RS232C通信界面标准设备;符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
*辅助泵的容量是160L/min情况下的容许大流量

  • 产品型号:TG220F/350F/450F
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-01-11
  • 访  问  量:3380
  • 产品资料:

详细介绍

性能其他产地进口
加工定制

  *安装型复合分子泵的优点

排气范围广:低真空到超高真空的宽广范围内排气

大流量排气:可排大流量的气体

迅速启动:启动快,可缩短待机时间

耐振动耐冲击:经得住压力的急速上升,耐大气冲击能力强;且适用于受外部震动影响的使用环境

优越的耐久性:通过适当的维修可长期使用(泵的寿命达到10万小时以上)

用途:半导体;FPD(LCD,PDP,有机EL,FED,其他)制造;各种电子部件的制造;管球制造,光学部件(镜片,光学过滤器等)制造;尤其适用于移动式的排气装置;电子枪排气,离子源排气,热处理;表面处理,表面改质;分析,试验装置;加速器,放射光设备,核聚变研究;研究开发用

                            TG220F型/TG350F型/TG450F型复合分子泵
*安装;小型;节能;迅速启动;可迅速停止排气;耐大气冲击能力强;多种通信模式*RS232C通信界面标准设备;符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

TG220F型:

TG350F型:

TG450F型:

*辅助泵的容量是160L/min情况下的容许大流量

使用环境温度:极限压力的保证环境温度是10-23度、空冷状态下的容许环境温度是10-32度,水冷状态时是10-40度。极限压力保证冷却水温在30度以下时容许冷却水温是10-35度
对应气体种类:根据抽吸气体种类,轴承润滑脂或内部部件会受损。有关对应的气体种类请咨询
标准组合:泵+电源+电机电缆(3m)+风扇电缆(3m,于空冷型)
特殊附属品(另行购买):(烘烤用)吸气口电热带,自动慢排阀,气体吹扫接口,精密针型阀,配管部件。

 

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