TG220F型/TG350F型/TG450F型复合分子泵

*安装型复合分子泵的优点

排气范围广：低真空到超高真空的宽广范围内排气

大流量排气：可排大流量的气体

迅速启动：启动快，可缩短待机时间

耐振动耐冲击：经得住压力的急速上升，耐大气冲击能力强；且适用于受外部震动影响的使用环境

优越的耐久性：通过适当的维修可长期使用（泵的寿命达到10万小时以上）

用途：半导体；FPD(LCD,PDP,有机EL,FED,其他)制造；各种电子部件的制造；管球制造，光学部件（镜片，光学过滤器等）制造；尤其适用于移动式的排气装置；电子枪排气，离子源排气，热处理；表面处理，表面改质；分析，试验装置；加速器，放射光设备，核聚变研究；研究开发用

TG220F型/TG350F型/TG450F型复合分子泵
*安装；小型；节能；迅速启动；可迅速停止排气；耐大气冲击能力强；多种通信模式*RS232C通信界面标准设备；符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

TG220F型：

TG350F型：

TG450F型：

*辅助泵的容量是160L/min情况下的容许大流量

使用环境温度：极限压力的保证环境温度是10-23度、空冷状态下的容许环境温度是10-32度，水冷状态时是10-40度。极限压力保证冷却水温在30度以下时容许冷却水温是10-35度
对应气体种类：根据抽吸气体种类，轴承润滑脂或内部部件会受损。有关对应的气体种类请咨询
标准组合：泵+电源+电机电缆（3m）+风扇电缆（3m，于空冷型）
特殊附属品（另行购买）：（烘烤用）吸气口电热带，自动慢排阀，气体吹扫接口，精密针型阀，配管部件。