详细介绍
品牌 | 其他品牌 | 性能 | 其他 |
---|---|---|---|
产地 | 进口 | 加工定制 | 否 |
*安装型复合分子泵的优点
排气范围广:低真空到超高真空的宽广范围内排气
大流量排气:可排大流量的气体
迅速启动:启动快,可缩短待机时间
耐振动耐冲击:经得住压力的急速上升,耐大气冲击能力强;且适用于受外部震动影响的使用环境
*的耐久性:通过适当的维修可长期使用(泵的寿命达到10万小时以上)
用途:半导体;FPD(LCD,PDP,有机EL,FED,其他)制造;各种电子部件的制造;管球制造,光学部件(镜片,光学过滤器等)制造;尤其适用于移动式的排气装置;电子枪排气,离子源排气,热处理;表面处理,表面改质;分析,试验装置;加速器,放射光设备,核聚变研究;研究开发用
TG220F型/TG350F型/TG450F型复合分子泵
*安装;小型;节能;迅速启动;可迅速停止排气;耐大气冲击能力强;多种通信模式*RS232C通信界面标准设备;符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
TG220F型:
TG350F型:
TG450F型:
*辅助泵的容量是160L/min情况下的容许大流量
使用环境温度:极限压力的保证环境温度是10-23度、空冷状态下的容许环境温度是10-32度,水冷状态时是10-40度。极限压力保证冷却水温在30度以下时容许冷却水温是10-35度
对应气体种类:根据抽吸气体种类,轴承润滑脂或内部部件会受损。有关对应的气体种类请咨询
标准组合:泵+电源+电机电缆(3m)+风扇电缆(3m,于空冷型)
特殊附属品(另行购买):(烘烤用)吸气口电热带,自动慢排阀,气体吹扫接口,精密针型阀,配管部件。
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