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MKS C系列质量流量控制器 质量流量计

简要描述:C系列质量流量控制器(MFC)是紧凑且快速响应型,用于非腐蚀性气体,流量从50SCCM至50SLM,范围从满量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模拟和RS485,所需电源电压为24VDC。

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  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-20
  • 访  问  量:2125
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详细介绍

产地进口加工定制
质保1年

C系列质量流量控制器

C系列质量流量控制器(MFC)是紧凑且快速响应型,用于非腐蚀性气体,流量从50SCCM至50SLM,范围从满量程0.1%至。控制方式有0至5VDC模拟和RS485,所需电源电压为24VDC。

C系列质量流量计尺寸为:长5.02英寸(127.5mm) ,宽1英寸(25.4mm),高4.33英寸(109.98mm),气路转接,下载版本及可用。

MEMS低热式质量传感器提供快速检测流量变化和低噪声输出,传感器的固态设计使其能抵抗水凝结粒子,压力冲击和振动。

快速响应,宽动态控制范围,1%精度,在无腐蚀性工艺应用中的佳选择。用于质谱、真空镀膜、生物反应及多种应用。

C系列融合了快速反应的电磁控制阀与流量传感器,通过MFC优化流量耦合信号处理与控制算法,使得响应时间小于100毫秒。




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