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真空矩形阀

简要描述:真空矩形阀广泛应用于半导体、光电产业之镀膜设备,安装于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与制程腔室(process chamber)等需要真空与压力分隔的地方。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-28
  • 访  问  量:984
  • 产品资料:

详细介绍

品牌其他品牌产地进口
加工定制

产品应用

Htc真空矩形阀是采用了直连驱动技术的真空阀,外形尺寸小,设计紧凑,所有动件皆位于大气侧因而与真空侧隔绝,可减少粉尘产生,并提升产品的使用寿命。另外还有无气压时的封合自锁保护,封板快速拆装设计易维修等优点。


设计原理/特征

l   低振动及低粉尘设计(Low vibration and Low particle)

l   利用凸轮机构与弹簧完成封板封合动作。

l   双气压缸、单出力轴驱动。

l   驱动轴杆封合顶紧辅助装置。

l   无气压时的封合自锁保护装置。

l   封板快速拆装设计,方便O-ring维修更换。

l   100 万周期寿命。


真空矩形阀分类

l   标准型矩形闸阀(Standard Rectangular Transfer valves)

l   标准型矩形门型闸阀(Rectangular doors)

l   大型矩形闸阀(Large rectangular transfer valves)

l   大型矩形门型闸阀(Large rectangular doors)


Body 材质

铝合金或不锈钢(Aluminum or Stainless)

Body 表面处理

电解抛光 or 铝硬阳处理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)



















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