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TT系列 MKS质量流量计

简要描述:TT系列 MKS质量流量计π系列金属密封压力不敏感数字质量流量控制器

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-22
  • 访  问  量:1063
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详细介绍

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TT系列 MKS质量流量计
πMFC 是新一代压力不敏感数字质量流量控制器。实时高精度流量控制是基于数字算法技术, 能有效地避免因压力波动而造成的流量不稳。 πMFC 广泛地应用于诸如半导体和薄膜生产工艺等高精度、 高纯度气体系统。 πMFC 集成压力传感器并显示压力等读数, 各种模拟和数字通讯口可选。
  • πMFC 压力不敏感质量流量控制器, 满量程范围从10 sccm – 50 slm。

  • πMFC 低压质量流量控制器, 满量程范围从2 – 50 sccm。



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