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Tru-F10 MKS质量流量计

简要描述:Tru-F10 MKS质量流量计以压力为基础的流量控制器

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-09
  • 访  问  量:1301
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详细介绍

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Tru-F10 MKS质量流量计

Tru-Flo® 质量流量检测器是一个紧凑型的诊断仪器。它在已知的腔体体积和温度的条件下, 测量上升的压力来确定流量。

•    DELTA® II流量比例控制器随着 DELTA 流量比例控制器的使用, 优化工艺结果将变得容易。它可将混合的工艺气体按比例分为两路以提高均匀性等工艺参数。比例可从1:1至1:20。





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