INFICON真空计控制器

VGC401，VGC402，VGC403INFICON真空计控制器

与全部INFICON现有的真空计兼容，VGC400系列控制器可监测从10^-10至1500毫巴（10^-10至1125托）整个压强范围和设点状态。

VGC401，VGC402，VGC403INFICON真空计控制器优势：

1、          自动识别连接的INFICON真空计。

2、          用户可选的测量单位（毫巴，托，帕，微米汞柱）。

3、          高分辨率-16位A/D变换器。

4、          多至6个可调节的设点与可调节的滞后，可分配给任何通道。

5、          承诺和标准：CE，ETL，RoHS。

6、          可编程的0至10伏图形记录仪，对每台真空计或复合真空计均有对数/线性输出（仅VGC102/403）。

7、          提供固件的在线更新，可通过RS232接口容易下载。

8、          通用的小型桌上式模式结构可容易地安装在面板或19’’机架上。

9、          宽范围电源90至250伏50至60Hz

VGC401，VGC402，VGC403INFICON真空计控制器

用途：

1、          氧化，扩散和LPCVD过程。

2、          其它要求无金属的真空测量。