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电容膜片真空计(0.1 ...1000 托 / 毫巴)

简要描述:CDG100D 真空计温度控制在 100 °C,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。

  • 产品型号:CDG100D
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-22
  • 访  问  量:1409
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详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

SKY® CDG100D 电容膜片真空计- 100°C (F.S.R. 0.1 ...1000 乇 /毫巴)- 高温应用的zhuoyue性能

INFICON SKY CDG100D 压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG100D 真空计温度控制在 100 °C,具有zhuoyue的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 100 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质zhuoyue,jiju成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

好处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗

  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点

  • 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移

  • 诊断端口便于快速服务与维护

  • 两年保修服务,加热概念和真空计保护延长了使用寿命

  • zhuoyue的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准

  • 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

新闻

  • 现在提供 EtherCAT 数字接口

典型应用

  • 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程

  • 化学和腐蚀性高温过程

  • 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

电容膜片真空计(0.1 ...1000 托 / 毫巴)







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