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电容膜片真空计(1...1000乇/毫巴)

简要描述:INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 和 CDG200D 真空计温度分别控制在160 °C 和 200 °C,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。

  • 产品型号:CDG160D/CDG200D
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-02-23
  • 访  问  量:1197
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详细介绍

品牌Inficon/英福康产地进口
加工定制

电容膜片真空计

Sky CDG160D, CDG200D 1 ... 1000 乇/毫巴


INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 和 CDG200D 真空计温度分别控制在160 °C 和 200 °C,具有zhuoyue的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质zhuoyuejiju成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

好处

  • 更低的 CoO(拥有成本)、预热速度提高 50%、节能低功耗

  • 易于集成,各种满量程、法兰和接口,标配两个设定点

  • 简单的一个按钮或远程信号归零命令,零点偏移可调

  • 用于快速维修和维护的诊断端口

  • 两年保修,通过加热概念和仪表保护延长使用寿命

  • 由于具有出色的信号稳定性和可重复性,因此无需长期重新校准,即使在恶劣的等离子体应用中也是如此

  • 合规性和标准:CE,EN,UL,SEMI,RoHS

典型应用

  • 蚀刻、CVD、PVD等半导体生产工艺

  • 化学和腐蚀性高温工艺

  • 需要压力表保护的一般薄膜和真空工艺




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