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VGC094真空计控器是真空过程测量、控制和数据记录的解决方案。VGC094与各种INFICON无源真空计兼容,能够监测1×10-11至1000毫巴的整个真空压力范围。VGC094可由用户配置,以控制多达4个无电源规头(皮拉尼真空计, 倒置磁控管测量仪)通过两组测量板进行测量。VGC094是性能要求苛刻的应用的理想解决方案,例如长距离、高温或高电离辐射暴露的操作。
NFICON无源冷阴极规头MAG084专为与真空计控制器VGC094一起使用。它们采用紧凑的设计,使其成为一种简单而坚固的真空计,适用于多种工业应用。真空测量头头MAG084使用金属密封,允许在特超高真 空范围内进行压力测量。
PSG010、PSG017和PSG018为历史悠久的无源皮拉尼真空计,旨在使用真空计控制器VGC094进行操作。它们专为真空测量气体而设计压力范围为8×10-4至1000毫巴。紧凑的金属设计为普通真空应用提供了一种稳健的解决方案。
IE414和IE514是基于热阴极电离效应的高超真空传感器。IE414是Bayard-Alpert量规,而IE514基于Extractor提取器原理。这些无源真空计由IM540真空计控制器组合和控制。通过调节阴极发射电流,IE414的测量范围从1×10-2毫巴到1×10-11毫巴,跨度超过9级。
IM540真空计控制器是一款多功能电离计控制器,可在10-12mbar和大气压范围内提供完整的真空测量和控制。根据应用和用户的需求,IM540是一站式解决方案,因为它可以结合多达4种不同的真空测量原理-皮拉尼、电容式隔膜、Bayard-Alpert和Extractor提取器。
过程测量、控制和数据记录的可持续解决方案TPG36x有 源真空计控制器与各种INFICON有源真空计兼容,能够监 测和记录整个压力范围(10-10至1500毫巴(10-10至1125托)和设定点状态。